প্লাজমা ইত্যাদি নীতি

ইণ্ডাক্টিভলি সংযুক্ত প্লাজমা এচ (ICPE) ৰাসায়নিক আৰু ভৌতিক প্ৰক্ৰিয়াৰ সংমিশ্ৰণৰ ফল। ইয়াৰ মূল নীতিটো হ’ল, শূন্যতা আৰু নিম্ন চাপৰ অধীনত, এটা ICP RF শক্তি যোগানৰ দ্বাৰা সৃষ্টি কৰা ৰেডিঅ’ কম্পাঙ্ক এটা ট’ৰ’ইডাল কাপলিং কইললৈ আউটপুট কৰা হয়। এটা নিৰ্দিষ্ট অংশত মিশ্ৰিত এচিং গেছ এটা গ্লো ডিচাৰ্জৰ সৈতে সংযুক্ত হয়, যাৰ ফলত এটা উচ্চ-ডেনচিটি প্লাজমা উৎপন্ন হয়। তলৰ ইলেক্ট্ৰ'ডত আৰ এফৰ প্ৰভাৱত এই প্লাজমাই ছাবষ্ট্ৰেটৰ পৃষ্ঠত বোমাৰে আক্ৰমণ কৰে, যাৰ ফলত ছাবষ্ট্ৰেটৰ আৰ্হিযুক্ত অংশত অৰ্ধপৰিবাহী পদাৰ্থৰ ৰাসায়নিক বান্ধোন ভাঙি যায়। এই অস্বাভাৱিক পদাৰ্থবোৰে এচিং গেছৰ সৈতে বিক্ৰিয়া কৰি অস্বাভাৱিক যৌগ গঠন কৰে, যিবোৰ তাৰ পিছত ছাবষ্ট্ৰেটৰ পৰা গেছ হিচাপে পৃথক হয় আৰু শূন্য ৰেখাৰ পৰা পাম্প কৰি উলিয়াই দিয়া হয়।