বায়ুমণ্ডলীয় প্লাজমা চিকিৎসা সঁজুলি

(১) প্ৰি{{১}}ভেকুৱাম চেম্বাৰ
প্ৰি-ভেকুৱাম চেম্বাৰৰ কাৰ্য্য হ'ল এচিং চেম্বাৰটো নিৰ্দিষ্ট শূন্যতা স্তৰত ৰখা হয়, বাহ্যিক পৰিৱেশৰ দ্বাৰা (যেনে ধূলি, পানীৰ বাষ্প) প্ৰভাৱিত নহয়, আৰু পৰিষ্কাৰ কোঠাৰ পৰা বিপজ্জনক গেছ পৃথক কৰে। ইয়াত এটা কভাৰ, এটা মেনিপুলেটৰ, এটা ট্ৰেন্সমিছন মেকানিজম, এটা আইছ’লেচন ড’ৰ আদি থাকে।

(২) এচিং চেম্বাৰ
এচিং চেম্বাৰ হৈছে আইচিপি এচিং সঁজুলিৰ মূল গঠন। ইয়াৰ এচিং হাৰ, এচিঙৰ উলম্বতা আৰু ৰুক্ষতাত প্ৰত্যক্ষ প্ৰভাৱ পৰে। এচিং চেম্বাৰৰ মূল উপাদানসমূহ হ’ল: ওপৰৰ ইলেক্ট্ৰ’ড, আইচিপি ৰেডিঅ’ ফ্ৰিকুৱেন্সি ইউনিট, আৰ এফ ৰেডিঅ’ ফ্ৰিকুৱেন্সি ইউনিট, লোয়াৰ ইলেক্ট্ৰ’ড ব্যৱস্থা, উষ্ণতা নিয়ন্ত্ৰণ ব্যৱস্থা আদি।

(৩) গেছ যোগান ব্যৱস্থা
গেছ যোগান ব্যৱস্থাই এচিং চেম্বাৰলৈ বিভিন্ন এচিং গেছ প্ৰদান কৰিব লাগে, আৰু গেছৰ প্ৰবাহৰ হাৰ আৰু চাপ নিয়ন্ত্ৰক (পিচি) আৰু মাছ ফ্ল’ নিয়ন্ত্ৰক (এমএফচি)ৰ মাজেৰে প্ৰবাহ সঠিকভাৱে নিয়ন্ত্ৰণ কৰিব লাগে। গেছ যোগান ব্যৱস্থাত গেছৰ উৎসৰ বটল, গেছ ডেলিভাৰী পাইপলাইন, এটা নিয়ন্ত্ৰণ ব্যৱস্থা, মিশ্ৰণ ইউনিট আদি থাকে।

(৪) ভেকুৱাম ব্যৱস্থা
দুটা ভেকুৱাম ব্যৱস্থা আছে, এটা প্ৰি-ভেকুৱাম চেম্বাৰৰ বাবে আৰু আনটো এচিং চেম্বাৰৰ বাবে। প্ৰি-ভেকুৱাম চেম্বাৰটো যান্ত্ৰিক পাম্পৰ দ্বাৰা খালী কৰা হয়। কেৱল যেতিয়া প্ৰি-ভেকুৱাম চেম্বাৰত থকা শূন্যতাৰ মাত্ৰা নিৰ্দিষ্ট মান পোৱা যায় তেতিয়াহে ৱেফাৰটো স্থানান্তৰ কৰিবলৈ পৃথকীকৰণ দুৱাৰখন খুলিব পাৰি।